Semikondutturi Stainless Steel: 316L VIM-VAR vs UNS N08904

Rekwiżiti ta' Purità għal Sistemi Semikondutturi

Għodod tal-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi jimxu gassijiet ta' purità ultra-għoli-, kimiċi tal-proċess u ilma dejonizzat permezz ta' tubi u komponenti tal-istainless steel. Il-kontaminazzjoni minn partiċelli, jonji metalliċi, umdità u ħruġ ta 'gass jistgħu jiddegradaw ir-rendiment, għalhekk il-materjali għandhom jgħaqqdu kontenut baxx ta' inklużjoni, passività stabbli u uċuħ lixxi. Żewġ familji ta 'materjal jiddominaw: vakwu-imdewweb 316L għal servizz ta' fażi-gass, u gradi awstenitiċi ta' liga-ogħla bħal UNS N08904 għal servizz kimiku imxarrab. Il-miri tad-disinn huma normalment definiti mis-sid tas-sistema billi juża speċifikazzjonijiet ta' indafa u ħruxija tal-wiċċ, bi standards ta' tubi bħal ASTM A632 għal tubi ta' dijametru żgħir mingħajr saldatura u wweldjati u ASTM A269 għal tubi ta' servizz ġenerali.

316L VIM-VAR: Prattika tat-Tidwib u Proprjetajiet

VIM-VAR tindika rotta doppja ta' tidwib bil-vakwu: tidwib b'induzzjoni bil-vakwu segwit minn tidwib mill-ġdid tal-ark bil-vakwu. Il-prattika tnaqqas l-inklużjonijiet tal-ossidu u tas-sulfid, tissikka l-omoġeneità tal-kompożizzjoni u timminimizza s-segregazzjoni, li ttejjeb il-mikro-indafa u r-rispons tal-eletropolishing. Kompożizzjoni standard 316L għal kull ASTM A240 hija karbonju 0.030 max, manganiż 2.00 max, fosfru 0.045 max, kubrit 0.030 max, silikon 0.75 max, kromju 16.00-18.00, nikil 10.00{bdenum, 10.00}moly{190} 2.00-3.00, nitroġenu 0.10 max. Għal linji tal-gass tas-semikondutturi, il-kubrit ħafna drabi jiġi kkontrollat ​​sew taħt il-massimu standard minħabba li s-sulfidi huma siti ta 'bidu għall-ġenerazzjoni tal-pitting u tal-partiċelli. VIM-VAR 316L huwa speċifikat għal distribuzzjoni ta 'gass inert u korrużiv ta' purità għolja, fejn il-wiċċ passivat jibqa 'stabbli fuq ħajjiet twal ta' servizz.

UNS N08904: Kompożizzjoni u Prestazzjoni tal-Korrużjoni

UNS N08904 huwa grad kompletament awstenitiku skont ASTM A240 bil-limiti li ġejjin: karbonju 0.020 max, manganiż 2.00 max, fosfru 0.045 max, kubrit 0.035 max, silikon 1.00 max, kromju 19.0-23.0, monikil 28.0. 4.0-5.0, ram 1.0-2.0, nitroġenu 0.10 max. Is-saħħa tat-tensjoni minima ittemprata hija ta '490 MPa u s-saħħa ta' rendiment ta '220 MPa b'titwil ta' 35 fil-mija. Il-kombinazzjoni ta '4 sa 5 fil-mija molibdenu u 1 sa 2 fil-mija tar-ram tagħti numru ekwivalenti ta' reżistenza għall-pitting ta 'madwar 34 sa 36, ​​bejn wieħed u ieħor 50 fil-mija ogħla minn 316L, u reżistenza nettament aħjar għal kloruri sħan, aċidu sulfuriku dilwit u aċidu fosforiku. L-ekwivalenti Ewropew EN 1.4539 (X1NiCrMoCu25-20-5) huwa użat ta 'spiss fl-inċiżjoni mxarrba u stazzjonijiet tal-kunsinna kimiċi.

Proprjetà	316L VIM-VAR	UNS N08904
Kromju	16.00-18.00	19.0-23.0
Nikil	10.00-14.00	23.0-28.0
Molibdenu	2.00-3.00	4.0-5.0
Ram	-	1.0-2.0
PREN, madwar	24	34-36
Rwol tipiku	Linji tal-gass ta'-purità għolja	Linji kimiċi mxarrba

Gwida għat-Tqabbil u l-Għażla

Għad-distribuzzjoni tal--fażi tal-gass, 316L VIM-VAR hija l-għażla konvenzjonali minħabba li r-rekwiżit ewlieni huwa wiċċ lixx,-ħieles mill-partiċelli, baxx- li joħroġ il-gass, mhux kontenut massimu ta' liga. Għas-servizz kimiku imxarrab b'aċidi sħan, kloruri ossidanti jew etchants aggressivi, UNS N08904 jirreżisti attakk li jpoġġa 316L maż-żmien. Arkitettura komuni tuża N08904 għall-bank imxarrab u s-sezzjoni tat-twassil tal-kimika, u tgħaddi għal VIM-VAR 316L għal-linji tal-gass u d-distribuzzjoni finali. L-ispiża, l-iwweldjar u d-disponibbiltà kollha jiffavorixxu 316L; N08904 jintgħażel biss fejn il-kimika titlobha.

Finish tal-wiċċ, Electropolishing u Indafa

Il-kundizzjoni tal-wiċċ tirregola l-prestazzjoni daqs il-grad tal-liga. L-elettropolixxjar, indirizzat minn ASTM B912 għall-passivazzjoni tal-istainless steel, ineħħi saff irqiq tal-metall, jesponi film passiv-arrikkit tal-kromju u jnaqqas il-mikro-ħruxija; valuri medji tal-ħruxija fi jew inqas minn 0.25 mikrometri Ra huma komunement speċifikati għal tubi semikondutturi. Illustrar mekkaniku segwit minn electropolishing u tindif finali b'ilma jew solvent ta' purità għolja-tneħħi kontaminanti inkorporati u residwi organiċi. Il-wiċċ lest għandu jkun protett minn kontaminazzjoni mill-ġdid waqt il-ħażna u l-installazzjoni, u l-ġonot għandhom ikunu orbitali-iwweldjati b'dahar ta' gass inert- biex jippreservaw il-wiċċ ta 'ġewwa.

Mistoqsijiet Frekwenti

Q: Xi jfisser VIM-VAR?Tidwib tal-induzzjoni bil-vakwu segwit minn tidwib mill-ġdid tal-ark vakwu, prattika ta 'tidwib bil-vakwu doppju li ttejjeb il-mikro-indafa, l-omoġenità u l-kwalità tal-wiċċ ta' 316L.

Q: Għaliex jintuża l-electropolishing għal tubi semikondutturi?Tneħħi s-saff imfixkel mekkanikament, inaqqas il-ħruxija tal-wiċċ, tarrikkixxi l-film passiv fil-kromju u jnaqqas iż-żamma tal-partiċelli u l-umdità fuq uċuħ imxarrba.

Q: VIM-VAR 316L huwa aktar għali minn 316L standard?Iva, minħabba l-pass addizzjonali tat-tidwib mill-ġdid tal-vakwu. Il-primjum huwa ġġustifikat f'applikazzjonijiet ta'-purità għolja fejn l-indafa tirregola r-rendiment.

Q: Meta għandu jintgħażel UNS N08904 fuq 316L?Għal sistemi kimiċi mxarrbin li jimmaniġġjaw kloruri sħan, aċidi dilwiti qawwija jew etchants ossidanti, fejn 316L jinfed jew jissaddad maż-żmien.

Q: Jista' VIM-VAR 316L jiġi wweldjat mingħajr ma jintilef l-indafa?Iva, sakemm jintuża l-iwweldjar orbitali b'backing tal-gass inert-u l-intern tal-weldjatura jkun lixx u ħieles mill-ossidazzjoni; pickling jew electropolishing jistgħu jkunu meħtieġa wara l-iwweldjar.

Q: Liema ħruxija tal-wiċċ tista 'tinkiseb?It-tubi semikondutturi elettropolished huwa komunement speċifikat f'Ra 0.25 mikrometri jew aħjar, b'finituri saħansitra ifjen disponibbli għal linji tal-gass kritiċi.

Mistoqsijiet Frekwenti

Q1. X'inhuma l-limiti tal-kompożizzjoni ta '316L għal kull ASTM A240?
Karbonju 0.030 max, manganiż 2.00 max, fosfru 0.045 max, kubrit 0.030 max, silikon 0.75 max, kromju 16.00-18.00, nikil 10.00-14.00, molibdenu 2.00-3.00 u nitroġenu max.

Q2. X'inhi l-kompożizzjoni ta' UNS N08904?
Karbonju 0.020 max, kromju 19.0-23.0, nikil 23.0-28.0, molibdenu 4.0-5.0 u ram 1.0-2.0, b'490 MPa min saħħa tat-tensjoni, rendiment ta '220 MPa u elongazzjoni ta' 35 fil-mija; l-ekwivalenti Ewropew huwa EN 1.4539 (X1NiCrMoCu25-20-5).

Q3. X'inhu l-PREN ta' kull grad?
Madwar 24 għal 316L u 34-36 għal UNS N08904, bejn wieħed u ieħor 50 fil-mija ogħla għall-N08904.

Q4. Liema standards tat-tubi japplikaw għas-servizz tas-semikondutturi?
ASTM A632 għal tubi ta' dijametru żgħir mingħajr saldatura u wweldjati, ASTM A269 għal tubi ta 'servizz ġenerali, u ASTM B912 għall-passivazzjoni ta' l-istainless steel permezz ta 'elettropolishing.

Q5. Għaliex il-kubrit huwa kkontrollat ​​sewwa fis-semikondutturi-grad 316L?
Is-sulfidi huma siti ta' bidu għal pitting u ġenerazzjoni ta' partiċelli, għalhekk il-kubrit huwa kkontrollat ​​sew taħt l-istandard 0.030 max għal linji tal-gass ta'-purità għolja.